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Risesun Hotbar - 涂層硅碳棒

碳化硅加熱元件可在不同氣氛的爐內使用,但在一些氣氛條件下元件的使用壽命會受到影響而縮短,為了延長元件在不同氣氛中的使用壽命,我們準備了不同類型的涂層來保護元件的碳化硅結構,以防其加速老化,主要有A、B、C、D、等類型的涂層。

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碳化硅加熱元件可在不同氣氛的爐內使用,但在一些氣氛條件下元件的使用壽命會受到影響而縮短,為了延長元件在不同氣氛中的使用壽命,我們準備了不同類型的涂層來保護元件的碳化硅結構,以防其加速老化,主要有A、B、C、D、等類型的涂層。但事實上,一個爐內幾種有害的揮發物可能同時存在,甚至本來無害的揮發物由于與其它揮發物混合成為有害物,從而影響元件的使用壽命。由于不同類型的涂層在不同氣氛中所體現的使用效果不同,選擇涂層時需先針對具體問題做小批量的試驗,以發現最佳方案,選用一種最適用的涂層。

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元件在不同氣氛下使用的影響和推薦的涂層

氣氛

對元件的影響

解決辦法

推薦涂層

水蒸汽和濕氣

比在干燥大氣中使用壽命縮短約20%

新爐子運行或舊爐子長時間不工作再使用時,要先低溫充分干燥后再升溫

A涂層

氮氣

溫度超過1400度時氮氣與碳化硅反應生成氮化硅,使元件變脆,壽命縮短,受露點影響與氫氣的狀況相同

建議爐溫在1300度以下使用,表面負荷盡量小

B涂層

氫氣

元件上升到1350度以后電阻急速增加,機械強度也下降,而且根據氣體干濕的不同壽命也差別很大

建議爐溫在1300度以下使用,表面負荷小于5W/CM2

C涂層

氨氣

與氫氣、氮氣的狀況相同

建議爐溫在1300度以下使用,表面負荷小于5W/CM2

B涂層

C涂層

分解氣體

(N2,CO,CO2,H2,CH4)

加熱過程中元件表面附著分解后碳黑,造成棒體疏松

經常向爐內輸送空氣,讓多余的碳燃燒。在爐子構造方面,保持加熱元件間有足夠的間隔以防止短路.

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(S、S2)

元件溫度升到1300度后,元件表面被侵蝕,電阻急劇增加

將元件溫度控制在1300度以下

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真空

在高真空中不能生成二氧化硅保護膜,碳化硅自行分解,壽命縮短

在0.13Pa以上的壓力和1100度以下的爐溫使用

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其他

由被處理物產生的各種物質,如鉛、銻、堿金屬的化合物與元件反應,使其壽命縮短。

預先將這些物質從處理物中除掉,爐內設排氣口以便減弱其影響

D涂層

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